摘要：介紹了一種單片集成式光-頻率轉(zhuǎn)換芯片,給出了流片芯片的測試結(jié)果。芯片內(nèi)部光電二極管產(chǎn)生隨光強(qiáng)變化的光生電流,積分電容將其轉(zhuǎn)換為電壓信號,當(dāng)電壓達(dá)到比較器閾值時,比較器翻轉(zhuǎn),振蕩電路振蕩,光強(qiáng)被轉(zhuǎn)變?yōu)轭l率信號。采用0.6μm 2P3M工藝進(jìn)行了流片,實(shí)現(xiàn)了芯片在三端封裝條件下的正常工作,芯片尺寸為1.8mm×1.7mm,光敏區(qū)面積為850μm×850μm,非線性小于1%,暗電流小于1Hz,輸出信號占空比為50%,芯片最高輸出頻率為1MHz。