首頁(yè) > 期刊 > 自然科學(xué)與工程技術(shù) > 工程科技I > 無(wú)機(jī)化工 > 低溫與特氣 > 采用六西格瑪方法提高三氟化硼氣體純度 【正文】
采用六西格瑪方法提高三氟化硼氣體純度
任少科 中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司; 遼寧大連116031
- 六西格瑪管理
- 三氟化硼
- 純度
摘要：高純?nèi)鹗前雽?dǎo)體離子注入用的重要摻雜離子源,在電子工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。采用六西格瑪流程改善方法,通過(guò)D-定義、M-測(cè)量、A-分析、I-改進(jìn)、C-控制五個(gè)階段,找出影響三氟化硼純度的主要因子,然后對(duì)因子進(jìn)行改進(jìn),通過(guò)試運(yùn)行后,最終將三氟化硼純度從99.5%提高到99.95%。
- 六西格瑪管理
- 三氟化硼
- 純度
摘要：高純?nèi)鹗前雽?dǎo)體離子注入用的重要摻雜離子源,在電子工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。采用六西格瑪流程改善方法,通過(guò)D-定義、M-測(cè)量、A-分析、I-改進(jìn)、C-控制五個(gè)階段,找出影響三氟化硼純度的主要因子,然后對(duì)因子進(jìn)行改進(jìn),通過(guò)試運(yùn)行后,最終將三氟化硼純度從99.5%提高到99.95%。
注：因版權(quán)方要求，不能公開(kāi)全文，如需全文，請(qǐng)咨詢雜志社
低溫與特氣
- 預(yù)計(jì)1個(gè)月內(nèi) 預(yù)計(jì)審稿周期
- 0.29 影響因子
- 化工 快捷分類
- 雙月刊 出版周期
主管單位：光明化工研究設(shè)計(jì)院;主辦單位：光明化工研究設(shè)計(jì)院
我們提供的服務(wù)
在線客服
一對(duì)一咨詢服務(wù)、簡(jiǎn)單快捷、省時(shí)省力
了解更多 >
快遞配送
直郵到家、實(shí)時(shí)跟蹤、更安全更省心
了解更多 >
雜志訂閱
去除中間環(huán)節(jié)享受低價(jià)，物流進(jìn)度實(shí)時(shí)通知
了解更多 >
雜志推薦
正版雜志，匹配度高、性價(jià)比高、成功率高
了解更多 >