摘要：微電子封裝設(shè)備是結(jié)構(gòu)復(fù)雜和制造精度高的電子工藝裝備,設(shè)備運(yùn)行過程中產(chǎn)生大量數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)采集是設(shè)備智能化發(fā)展的基礎(chǔ)。目前還無法獲取設(shè)備用戶現(xiàn)場的實(shí)時數(shù)據(jù)。重點(diǎn)論述了設(shè)備數(shù)據(jù)智能感知、傳輸網(wǎng)絡(luò)設(shè)計(jì)和數(shù)據(jù)管理與應(yīng)用等技術(shù),提出了可行的微電子封裝設(shè)備數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)方案。采用先進(jìn)的數(shù)據(jù)采集以及數(shù)據(jù)處理和挖掘技術(shù),能大幅度提高設(shè)備采集數(shù)據(jù)的數(shù)量和質(zhì)量。