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淺談多步擴散制備太陽電池PN結(jié)工藝

趙學(xué)玲 光伏材料與技術(shù)國家重點實驗室; 英利集團有限公司; 河北保定; 071000
  • 多步擴散制備法
  • 太陽能pn結(jié)
  • 中間層技術(shù)
  • 隧穿結(jié)技術(shù)

摘要:針對太陽能電池PN結(jié)制備技術(shù),本文分析工藝設(shè)計過程中,硅片磷濃度分布情況會給電池性能造成極大的影響?,F(xiàn)有的太陽電池PN結(jié)制備工藝中,多步擴散制備工藝具有較強的應(yīng)用優(yōu)勢,能夠減少死層,增加電活性磷摻雜量。文中重點對多步擴散制備工藝的應(yīng)用相關(guān)問題,以及硅基薄膜多結(jié)太陽能制備的其他工藝,做了簡單的論述分析。

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電子科學(xué)技術(shù)

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