摘要：為獲取光學(xué)平臺(tái)多自由度微振動(dòng)信息,設(shè)計(jì)了一種基于平面鏡雙頻激光干涉的三自由度動(dòng)態(tài)微振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)利用激光多普勒效應(yīng),采用三個(gè)測(cè)量軸獲得測(cè)量反射鏡的三點(diǎn)位移信息,計(jì)算出測(cè)量鏡平動(dòng)、扭轉(zhuǎn)角、俯仰角信息,實(shí)時(shí)檢測(cè)三自由度的微振動(dòng)情況,從而為光學(xué)系統(tǒng)的微振動(dòng)補(bǔ)償控制提供基礎(chǔ)。對(duì)微振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行了不確定度分析,建立了不確定度模型,為進(jìn)一步提高系統(tǒng)精度提供理論依據(jù),也為系統(tǒng)在校準(zhǔn)和計(jì)量領(lǐng)域的應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。實(shí)驗(yàn)過(guò)程中,采用高精度地震計(jì)對(duì)待測(cè)平臺(tái)進(jìn)行同步測(cè)量,與系統(tǒng)平動(dòng)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行對(duì)比,驗(yàn)證了系統(tǒng)的測(cè)量準(zhǔn)確性。該系統(tǒng)的平動(dòng)分辨率可達(dá)到5nm,扭轉(zhuǎn)角分辨率為5.05μrad,俯仰角分辨率為4.69μrad,具有多自由度、非接觸、高分辨、可溯源的優(yōu)點(diǎn)。