摘要：激光會聚鉻原子沉積實(shí)驗(yàn)所需時(shí)間可長達(dá)幾十分鐘至幾個(gè)小時(shí),實(shí)驗(yàn)過程中要求激光頻率的波動(dòng)小于5MHz,感生熒光穩(wěn)頻技術(shù)能夠解決原子沉積實(shí)驗(yàn)中激光頻率漂移的問題。為了保證激光頻率的長時(shí)間穩(wěn)定性,對穩(wěn)頻系統(tǒng)的誤差信號隨激光功率及原子爐溫度的變化情況進(jìn)行了研究。結(jié)果顯示,在光強(qiáng)為8mW,原子爐溫度為1923K時(shí),激光頻率的長期漂移可抑制到最小,在200分鐘內(nèi)的頻率波動(dòng)僅有±0.6MHz。同時(shí),重復(fù)實(shí)驗(yàn)的結(jié)果也表明穩(wěn)頻系統(tǒng)具有很好的穩(wěn)定性,從而為原子沉積技術(shù)提供了保障,并提高了沉積實(shí)驗(yàn)的重復(fù)性。