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一種線陣CCD融合光柵尺的高精度尺寸測量新方法研究

同志學; 白金池; 康智強 西安建筑科技大學機電工程學院; 陜西西安710055; 西北工業(yè)大學自動化學院; 陜西西安710072; 中國科學院先進技術研究所; 廣東廣州511458
  • 神經網絡
  • 畸變矯正
  • 光柵尺
  • 亞像素尺寸檢測

摘要:為了解決數(shù)字圖像亞像素級高精度尺寸檢測問題,采用了基于人工神經網絡的線陣相機鏡頭畸變矯正方法,比傳統(tǒng)的多項式擬合法矯正精度高且操作簡便;提出了將光柵尺融入線陣相機掃描機構的新方法,利用高精度光柵尺測位移信號觸發(fā)線陣CCD圖像采集動作,精確獲取線陣相機掃描目標的亞像素級圖像。實驗證明,新的測量技術可在對運動系統(tǒng)要求不高的情況下獲取高精度圖像,圖像檢測精度可以達到1μm。

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光學技術

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