摘要：利用掃描電鏡、能譜分析、光學(xué)輪廓儀以及金相顯微鏡等測(cè)試手段對(duì) 液相外延碲鎘汞薄膜表面缺陷的形貌、成分和斷面進(jìn)行了分析,并研究了不同 種類表面缺陷的特征及來(lái)源。結(jié)果表明,液相外延碲鎘汞薄膜表面上存在的結(jié) 晶類缺陷往往尺寸較大或成片分布,對(duì)后續(xù)器件產(chǎn)生明顯影響。通過(guò)分析其成 因可以發(fā)現(xiàn),母液均勻性的提升是減少該類缺陷和提高碲鎘汞薄膜質(zhì)量的關(guān)鍵。