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二維過渡金屬硫族化合物納米異質(zhì)結(jié)氣體傳感器研究進展

楊志; 李泊龍; 韓雨彤; 蘇晨; 陳辛未; 周志華; 蘇言杰; 胡南滔; 張亞非; 曾敏 上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院微納電子學(xué)系; 薄膜與微細技術(shù)教育部重點實驗室; 上海200240
  • 氣體傳感器
  • 過渡金屬硫族化合物
  • 納米異質(zhì)結(jié)
  • 二維層狀材料
  • 傳感機理

摘要:二維過渡金屬硫族化合物(2D TMDs)在氣體傳感方向的應(yīng)用中具有顯著的"先天"優(yōu)勢,表現(xiàn)出如靈敏度高、響應(yīng)速度快、能耗低以及能在室溫下工作等諸多優(yōu)點.相對單一的2D TMDs而言,基于2D TMDs納米異質(zhì)結(jié)的氣體傳感器展現(xiàn)出更加優(yōu)越的氣體傳感性能.本文將系統(tǒng)總結(jié)2D TMDs納米異質(zhì)結(jié)氣體傳感器的研究進展,尤其是2D TMDs與金屬氧化物、金屬硫化物、碳基納米材料以及量子點之間形成的納米異質(zhì)結(jié)設(shè)計、構(gòu)效關(guān)系以及傳感機理等關(guān)鍵科學(xué)問題.傳感材料和傳感機制上的創(chuàng)新對提升傳感性能并拓展傳感功能具有重要的科學(xué)意義.通過對納米異質(zhì)結(jié)氣敏機理的深入探究,有望實現(xiàn)納米異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的人為設(shè)計和可控制備,提高室溫下對目標氣體的高靈敏選擇性識別和檢測.在納米異質(zhì)結(jié)的結(jié)構(gòu)設(shè)計上,以TMDs材料為導(dǎo)電主體,在其表面生長各種納米結(jié)構(gòu),通過對納米異質(zhì)結(jié)表面酸堿性、功函數(shù)、氣體分子極性以及納米異質(zhì)結(jié)與氣體分子之間的氧化還原反應(yīng)性質(zhì)進行調(diào)控,來構(gòu)筑基于TMDs的納米異質(zhì)結(jié).此外,控制負載在二維TMDs上納米顆粒尺寸小于兩倍電子耗盡層厚度,充分發(fā)揮納米顆粒量子限域效應(yīng),以納米顆粒充當傳感的"天線分子"或"探針分子",實現(xiàn)對目標氣體分子的高靈敏選擇性識別和檢測.

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