摘要：真空冷噴涂是一種基于室溫及真空條件下超細(xì)陶瓷粉末粒子的撞擊破碎實(shí)現(xiàn)涂層沉積的方法。目前,真空冷噴涂技術(shù)已經(jīng)在微電子器件,金屬防護(hù)以及新能源領(lǐng)域展現(xiàn)了良好的應(yīng)用前景。本研究將目光轉(zhuǎn)向鋰離子電池,基于真空冷噴涂技術(shù),在氧化鋁基體上制備了鋰離子電池 LiNi0.33Co0.33Mn0.33O2(NMC)三元材料正極涂層,使用掃面電子顯微鏡(SEM)觀察了 NMC涂層的表面及截面微觀形貌,使用 X射線衍射(XRD)對(duì)涂層的相結(jié)構(gòu)進(jìn)行了測(cè)試,使用 3D激光顯微鏡表征了涂層的表面粗糙度,系統(tǒng)研究了載氣流量、噴涂距離、噴涂次數(shù)等沉積條件對(duì) NMC涂層微觀形貌及粒子沉積行為的影響。結(jié)果表明,在真空冷噴涂 NMC涂層中可以觀察到明顯顆粒破碎沉積現(xiàn)象,涂層結(jié)構(gòu)致密。NMC粉末顆粒沉積方式受氣流量、噴涂距離、噴涂次數(shù)等沉積條件的影響,載氣流量的提高會(huì)提高粒子撞擊速度,從而提高涂層沉積速率,但過(guò)高的氣流量會(huì)導(dǎo)致粒子發(fā)生沖蝕,在涂層表面留下凹坑,致使涂層粗糙度增大。噴涂距離過(guò)大會(huì)導(dǎo)致 NMC顆粒撞擊速度減小,粒子破碎不充分,涂層呈現(xiàn)出類似團(tuán)聚粉末堆積的疏松結(jié)構(gòu)。噴涂次數(shù)影響涂層厚度,在合適的沉積參數(shù)條件下,可以通過(guò)調(diào)整噴涂次數(shù)實(shí)現(xiàn)涂層厚度的線性調(diào)控。