摘要：針對傳統(tǒng)的工藝加工敏感元件周期長、零件間摩擦阻尼大的特性,提出基于3D刻錄技術電渦流傳感器的改良型敏感元件加工制備方法。設計工藝包括了敏感元件的模型建立,參數調整和實測效果驗證等。實驗結果表明,3D刻錄渦流傳感器線性范圍為0~5 mm,非線性誤差為0.7%,有更寬的線性范圍和更好的響應靈敏度。與傳統(tǒng)工藝制造的傳感器相比,3D刻錄渦流傳感器具有更低的制造成本,打印模塊重復利用率高,可以通過多次原型迭代來優(yōu)化傳感器性能。