首頁 > 期刊 > 自然科學(xué)與工程技術(shù) > 信息科技 > 無線電電子學(xué) > 壓電與聲光 > 鉭酸鋰黑片的制備與性能研究 【正文】
鉭酸鋰黑片的制備與性能研究
龍勇; 于明曉; 李和新; 石自彬; 王璐; 丁雨憧; 徐揚(yáng); 吳兆剛 中國電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所; 重慶400060
- 鉭酸鋰
- 還原處理
- 電阻率
- 均勻性
- 晶片
摘要：為了獲得高均勻性、低熱釋電的鉭酸鋰(LT)晶片,采用粉末掩埋法對42°Y-LT晶片進(jìn)行了還原處理。結(jié)果表明,還原處理后的晶片電阻率為3.98×10^10Ω·cm;在365nm處透過率約為36.5%,透過率均勻性為1.15;熱導(dǎo)率為2.66W/(m·K),熱膨脹系數(shù)為2.79×10^-6K^-1,滿足器件使用要求。通過聲表面波器件驗證實驗表明,晶片抗靜電能力效果明顯,器件成品率較高,一致性好。
- 鉭酸鋰
- 還原處理
- 電阻率
- 均勻性
- 晶片
摘要：為了獲得高均勻性、低熱釋電的鉭酸鋰(LT)晶片,采用粉末掩埋法對42°Y-LT晶片進(jìn)行了還原處理。結(jié)果表明,還原處理后的晶片電阻率為3.98×10^10Ω·cm;在365nm處透過率約為36.5%,透過率均勻性為1.15;熱導(dǎo)率為2.66W/(m·K),熱膨脹系數(shù)為2.79×10^-6K^-1,滿足器件使用要求。通過聲表面波器件驗證實驗表明,晶片抗靜電能力效果明顯,器件成品率較高,一致性好。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
