摘要：該文介紹了一種采用智能截割(Smart CutTM)技術(shù)制備的單晶鈮酸鋰(LiNbO3)薄膜體聲波諧振器。采用COMSOL有限元仿真軟件從材料和結(jié)構(gòu)兩方面對LiNbO3薄膜體聲波諧振器進行優(yōu)化設(shè)計,以實現(xiàn)高機電耦合系數(shù),并通過Smart CutTM工藝方法制備了高性能Z切-LiNbO3單晶薄膜作為諧振器的壓電層,最終得到LiNbO3薄膜體聲波諧振器的諧振頻率為3847.5MHz,反諧振頻率為3986.25MHz,插入損耗為1.81dB,諧振器有效機電耦合系數(shù)達到8.3%。