摘要：異物是TFT-LCD制程常見的頑固缺陷,在高世代線(8.5代線)以摩擦工藝生產(chǎn)mobile產(chǎn)品時(shí)不良發(fā)生率更高。本文針對(duì)8.5代線生產(chǎn)Mobile產(chǎn)品時(shí)所產(chǎn)生的異物進(jìn)行原因及機(jī)理分析,發(fā)現(xiàn)該異物來源于摩擦制程,產(chǎn)生機(jī)理為:摩擦輥在玻璃基板上摩擦?xí)r,布毛容易刮起配向膜而產(chǎn)生細(xì)小的PI碎屑。為此本文從摩擦強(qiáng)度、單輥摩擦和光配向工藝進(jìn)行實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示:對(duì)于改善細(xì)小的PI碎屑最優(yōu)工藝為光配向,異物不良由2.34%降至0.41%。在最優(yōu)的光配向工藝條件下繼續(xù)優(yōu)化清洗機(jī)條件:在高壓氣液混合噴射(HPMJ)的壓力8 MPa、清洗機(jī)速度6 600mm/min和風(fēng)刀噴淋(AK Shower)打開條件下異物不良降至0.16%,改善效果明顯。