摘要：本文對(duì)摩擦工藝過程中的線不良進(jìn)行了分析,通過切割驗(yàn)證、設(shè)計(jì)方案變更驗(yàn)證了降低ESD風(fēng)險(xiǎn)的兩個(gè)方向。通過實(shí)際的驗(yàn)證結(jié)果分析發(fā)現(xiàn),減小填充圖形的面積或者將填充圖形連接到公共電極,同時(shí)搭配填充圖形到信號(hào)線的距離增加到大于60μm,可以大大降低靜電放電發(fā)生的概率,不良率由20%降低到0%。結(jié)果充分表明,此設(shè)計(jì)方案可應(yīng)用于實(shí)際產(chǎn)品設(shè)計(jì)中以降低摩擦工藝過程中的ESD風(fēng)險(xiǎn)。