真空系統(tǒng)的故障診斷與排除

姜燮昌沈陽真空技術(shù)研究所; 遼寧沈陽110042; 中國真空學會

摘要：本文討論了應用于真空工藝的各種真空獲得技術(shù),并提供了多年在使用和操作過程中積累的售后服務經(jīng)驗。當真空裝置需要維修時,系統(tǒng)地對故障進行分析診斷和采取正確的糾正措施都是同樣重要。

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真空

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