摘要：超高/極高真空度測(cè)量技術(shù)在宇航科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面科學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。隨著超冷原子技術(shù)的發(fā)展,利用冷原子損失率與氣體壓力之間的關(guān)系測(cè)量真空度,逐漸發(fā)展成一種新的真空測(cè)量方法——冷原子量子真空測(cè)量。在該方法中,冷原子損失率僅僅與冷原子和氣體的碰撞截面有關(guān),因此基于冷原子量子真空測(cè)量的方法有望發(fā)展出絕對(duì)真空計(jì)量技術(shù)。首先介紹了激光冷卻和囚禁原子的基本概念以及磁光阱的結(jié)構(gòu)和工作原理。其次,論述了冷原子量子真空計(jì)量技術(shù)的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀、技術(shù)優(yōu)勢(shì)和關(guān)鍵技術(shù)。最后展望了冷原子量子真空計(jì)量技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。隨著冷原子裝置的小型化、商業(yè)化、普及化,這種新型量子真空計(jì)量技術(shù)有望應(yīng)用到諸如航天器等需要高性能、輕量化、微型化裝置的領(lǐng)域中。